光刻機用超純水Chiller丨助力晶圓良率提升

光刻機用超純水Chiller丨助力晶圓良率提升

在半導體制造領(lǐng)域，光刻工藝是配套使用的設(shè)備之一，其決定了芯片上微細電路圖案的精度和質(zhì)量。而在這一高精度工藝的背后，需要光刻工藝溫度控制Chiller配套使用。

光刻工藝是通過一系列復雜步驟，將掩模版上的圖案轉(zhuǎn)移到硅片上的過程。這一過程中，光刻膠的曝光、顯影等步驟對溫度為要求高。溫度波動哪怕只是微小的幾度，都可能導致光刻膠的黏度、曝光速度、顯影速率等關(guān)鍵參數(shù)發(fā)生變化，從而影響圖案的精度。因此，確保光刻過程中溫度的恒定和溫度控制，是保障芯片制造良品率的關(guān)鍵。

光刻過程中，聚焦于光刻膠涂層的晶圓表面，以實現(xiàn)精細圖案的轉(zhuǎn)移。一方面，光刻設(shè)備長時間運行產(chǎn)生的熱量若不能及時散去，會導致光學元件熱膨脹，使光路發(fā)生偏差，光線無法聚焦，進而模糊芯片上待刻蝕的圖案輪廓；另一方面，溫度不穩(wěn)定還會影響光刻膠的化學特性，使其黏度、固化速率等參數(shù)改變，無法均勻且響應(yīng)光照，終造成芯片線路寬窄不一、短路或斷路等問題。

Chiller設(shè)備的主要功能是通過控制冷卻液的循環(huán)，將半導體生產(chǎn)設(shè)備的工作溫度維持在一個穩(wěn)定的范圍內(nèi)。在光刻工藝中，Chiller通過熱交換和溫控技術(shù)，實現(xiàn)了對光刻機及其核心組件的溫度控制。這不僅可以防止光刻機因長時間工作而過熱，導致性能下降或故障，更重要的是，確保了光刻膠在曝光過程中的溫度穩(wěn)定性。通過控制光刻膠的溫度，避免了因溫度波動導致的光刻圖案變形、精度下降等問題，從而提高了芯片的分辨率和良品率。

此外，隨著半導體工藝的不斷發(fā)展，對于溫度控制的要求也越來越高。現(xiàn)代制程的半導體生產(chǎn)，微小的溫度變化都可能對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生重大影響。因此，設(shè)計和生產(chǎn)也需要不斷升級，以滿足日益嚴格的技術(shù)要求。Chiller已經(jīng)采用了PID溫控算法、高精度傳感器以及多級熱交換技術(shù)，以確保溫度控制的穩(wěn)定。除了控溫外，光刻工藝溫度控制Chiller采用了變頻技術(shù)、熱回收技術(shù)等手段，以實現(xiàn)更加冷卻效果。

光刻工藝中溫度控制Chiller不僅是確保半導體產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定的關(guān)鍵因素，也是推動半導體產(chǎn)業(yè)向發(fā)展的力量。