半導體晶圓冷卻裝置在長時間的使用過程中，也需要對半導體晶圓冷卻裝置進行必要的檢查和維護保養，定期維護有利于半導體晶圓冷卻裝置制冷效率，同時也有利于延長壽命。

　　1、檢查并且校正半導體晶圓冷卻裝置溫控器，確保溫控器正常顯示。

　　2、檢查半導體晶圓冷卻裝置的冷媒量，如果不夠，需要及時補充冷媒。

　　3、對半導體晶圓冷卻裝置的整個電控系統、主機電路系統做一次徹查，確保正常。

　　4、試機運行并進行總校正，測試過熱度是否正常，各個部件有無異常聲音等。

　　5、清洗半導體晶圓冷卻裝置的冷凝器/蒸發器，如果水質不是太差的話，建議累積運行半年清洗一次。半導體晶圓冷卻裝置在長時間運行當中，會有很多水雜質產生，會影響制冷效果以及使用壽命等。

　　6、檢查冷凍油及潤滑油系統，如有污染建議對其進行更換，以利壓縮機更加自如的運轉。

　　7、對半導體晶圓冷卻裝置壓縮機馬達線圈進行測試。

　　8、檢查并且校正半導體晶圓冷卻裝置的高、低壓壓力開關，確定高、低壓壓力在正常范圍內。

9、檢查干燥過濾器是否正常，有沒有堵塞，必要時應予以更換全新的干燥過濾器。